Lò Đóng Rắn Áp Suất – PCO 860
Lò đóng rắn áp suất Heller sử dụng buồng áp suất để giảm thiểu hiện tượng rỗ khí và tăng độ bám dính.
Quy trình được đơn giản hóa bằng cách loại bỏ nhu cầu cho một số bước tiền xử lý như pre-bake và plasma.
Các dòng PCO của Heller có thể được trang bị thêm buồng chân không tùy chọn để rút ngắn tổng thời gian chu trình.
Trong khi duy trì áp suất ổn định bên trong buồng, không khí (hoặc Nitơ) được gia nhiệt trong mô-đun gia nhiệt đối lưu.
Không khí nóng được truyền động bởi động cơ quạt có độ tin cậy cao và liên tục lưu thông trong buồng áp suất, cung cấp nhiệt đồng đều cho sản phẩm.
Điểm nổi bật:
Nhiệt độ ổn định
Loại bỏ khí độc bằng hệ thống chân không
Tùy chọn nhiệt độ cao và áp suất cao cho quy trình TIM
Thông số kỹ thuật
| Kích thước lò (W×L×H mm) | 1,700 x 2,200 x 1,807 |
| Nhiệt độ vận hành tối đa (°C) | 200 |
| Áp suất vận hành tối đa (kgf/cm2) | 10 |
| Tùy chọn chân không (Tùy chọn) | 0.1 / 10 / 100 torr + điều kiện thời gian ví dụ: 760 torr → 10 torr / 5 phút |
| Phòng sạch | Dành cho Class 10000 / 1000 / 100 |
| Chứng nhận | SEMI S2/S8, ETL, CE, NEPA, v.v. |
Video
